国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货

国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货

 

晶洲装备官方宣布，国产首台精密掩模版（Fine metal Mask, 简称 FMM）INVAR 卷材工艺设备已于 1 月 6 日通过厂内验收，发运客户端即将投入生产。这是晶洲装备自主研发生产的国内首台 INVAR 卷材工艺设备。该设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元，具备将基材厚度管理至 20μm 以内水平，从而打破国外企业的垄断，解决我国 FMM 工艺装备“卡脖子“的问题。